Вакуумные насосы, течеискатели, компоненты вакуумных систем, регуляторы и фитинги являются неотъемлемой частью многих научных приборов и экспериментальных установок.
Несколько крупных фирм предлагают обширный спектр вакуумных насосов, элементов вакуумных систем и вакуумных компонентов, для удобства собранных в единый каталог-справочник. Мы можем рекомендовать:
- Kurt J. Lesker Company KJLC поставляет полный ассортимент фланцев и фланцевых компонентов, таких как ниппели, колена, тройники, крестовины, гибкие сильфоны, стеклометаллические уплотнения, быстроразъемные муфты, смотровые окна и т.д. во всех стандартных вакуумных фланцевых системах. Разнообразные типы клапанов, прямоугольные и круглые задвижки; дверные, угловые, встроенные и дроссельные клапаны. KJLC имеет множество устройств, необходимых для манипулирования образцами: подвижки, манипуляторы XYZ, поворотные приводы, линейные приводы которые механически перемещают объект внутри вакуумной камеры. Кроме этого компания предлагает полную линейку датчиков и контроллеров , включая конвекционные, термопарные (T/C), Пирани, мембранные и емкостные манометры, датчики горячего и холодного катода,течеискатели, а также все вспомогательные входные системы, запасные части и филаменты.
- Denton Vacuum производит вакуумное оборудование для нанесения тонкопленочных покрытий с использованием испарения, распыления, PE-CVD, ионно-лучевого осаждения и других методов осаждения тонких пленок, Осаждение тонких пленок является важным производственным этапом в производстве многих оптоэлектронных, твердотельных и медицинских устройств и изделий, включая бытовую электронику, полупроводниковые лазеры, волоконные лазеры, светодиодные дисплеи, оптические фильтры, сложные полупроводники, прецизионную оптику, микроскопию и микроанализ предметных стекол и медицинских имплантатов.
- Duniway Stockroom Corp производят разнообразное вакуумное оборудование, включая клапаны, ионные, диффузионные, механические насосы, турбомолекулярные насосы, вакуумные датчики и контроллеры, течеискатели.
- MDC Vacuum Products производят смотровые окна, вводы электрические и жидкостные , вакуумные камеры, подвижки и манипуляторы для образцов, форвакуумные ловушки и фильтры , вакуумные компоненты, вакуумные клапаны, шаровые краны, дроссельные заслонки и прочее.
- Nor-Cal Products производят сильфоны , гибкие шланги, муфты, линейные задвижки, маятниковые клапаны, шаровые краны, ручные дроссельные заслонки, контроллеры давления, форвакуумные ловушки и фильтры, смотровые окна, заслонки, подвижки и манипуляторы для образцов, разнообразные вводы электрические и жидкостные.
- VAT является разработчиком, производителем и поставщиком мирового уровня высокоэффективных вакуумных клапанов, многоклапанных модулей, сварных сильфонов.
- Vacuum Generators поставляют полный спектр компонентов UHV, начиная от самых простых прокладок и фланцев и заканчивая сложными сборками.
- Swagelok фитинги и трубные переходники, клапаны,шланги и гибкие трубки, регуляторы, быстроразъемные соединения, манометры, датчики давления, термометры, фильтры, пробоотборные цилиндры, сварочные системы, течеискатели.
- HOKE фитинги gyrolok , трубные фитинги, инструментальные клапана, активаторы, компоненты контроля потока жидкостей, инструментальные сборки, манифолды, быстроразъемные соединения, пробоотборные цилиндры.
- Valco (VICI) производят разнообразное оборудование для хроматографии , фитинги, инжекторы, селекторы , инжекторные и мембранные клапаны, калибровочные газы, контроллеры потока газа, шприцы, трубки, фильтры для газов и пр.
- Huntington Vacuum Products вакуумные камеры и аксессуары; подвижки линейные, угловые, вращательные; вводы электрические, газовые, жидкостные, платформы поворотные, наклонные, манипуляторы одноосевые и многоосевые, запорные, дроссельные и встроенные вакуумные клапаны,смотровые окна, заглушки, фитинги, сильфоны.
- Leybold производят различные вакуумные насосы : масляные, мембранные безмасляные, насосы Рутса, высоковакуумные турбомолекулярные, диффузионные, ионные и крионасосы, вакуумные системы, течеискатели, контрольно-измерительное вакуумное оборудование, восстановленные насосы и оборудование.
Вакуумные насосы (магнитноразрядные, безмасляные форвакуумные, диффузионные, сухие, турбомолекулярные, для агрессивных сред, для сверхчистых газов):
- Kurt J. Lesker Company поставщики вакуумных насосов различного назначения от разных производителей : масляных, безмасляных диафрагменных, спиральных , винтовых, насосов Рутса, диффузионных, турбомолекулярных, ионных, крионасосов и откачных постов.
- Agilent вакуумные насосы, насосные системы, измерительные приборы, компоненты и гелиевые течеискатели: спиральные, турбомолекулярные , ионные насосы и контроллеры UHV/XHV.
- Pfeiffer Vacuum известный производитель вакуумных насосов различного назначения : форвакуумных, масляных, безмасляных, диафрагменных, спиральных , винтовых, насосов Рутса, диффузионных, турбомолекулярных, ионных, откачных постов, вакуумных камер и вакуумметров, масс-спектрометрических систем для определения остаточных газов.
- Brooks вакуумные роботы, атмосферные и вакуумные платформы и системы для обработки кремниевых пластин для микроэлектроники.
- BOC Edwards широкий ассортимент вакуумного оборудования: малогабаритные диффузионные и турбомолекулярные насосы и откачные системы, безмасляные спиральные и диафрагменные насосы, пластинчато-роторные насосы , механические бустерные насосы, вращательные, поршневые насосы, промышленные безмасляные насосы GV , масс-спектрометры для определения остаточных газов.
- Leybold Vacuum https://www.leybold.com пластинчато-роторные вакуумные насосы с масляным уплотнением , безмасляные насосы, многоступенчатые насосы Рутса, насосы высокого вакуума диффузионные, турбомолекулярные, вакуумные системы, измерительная аппаратура, детекторы утечек и др.
- Osaka Vacuum вакуумные насосы и системы
- KNF Lab. компактные лабораторные диафрагменные насосы для перекачки газов и жидкостей.
Гелиевые течеискатели, детекторы утечки на основе масс-спектрометрических квадрупольных систем :
- Agilent
- Pfeiffer Vacuum
- BOC Edwards
- Leybold Vacuum
- Stanford Research Systems
- HIDEN Analytical
- MKS Instruments
- Extorr
- Dwayer Instruments
- Duniway Stockroom Corp.
- Inficon
- Kurt J. Lesker Company
Мониторинг газовых потоков:
- MKS Instruments газоанализаторы на основе масс-спектрометрии, ИК -Фурье (FTIR), не дисперсного инфракрасного излучения (NDIR) и перестраиваемой фильтрующей спектроскопии для анализа состава газов.
- Sierra Instruments термические массовые контроллеры потока, погружные термические массовые расходомеры, вихревые , ультразвуковые расходомеры для газа, жидкости,пара.
- Aalborg оборудование для контроля и измерения потока газа и жидкости: контроллеры, расходомеры, массовые контроллеры, ротаметры, вихревые расходомеры, клапана регулирующие поток.
Элементы газовых и вакуумных линий, соединители, клапаны, регуляторы, вентили, фитинги:
- Valco (VICI) широкий спектр аксессуаров для газовой и жидкостной хроматографии, колонки, фитинги, фильтры, поворотные клапаны, калибровочные стандарты.
- Swagelok фитинги, переходники, регуляторы, быстроразъемные соединения, манометры, датчики расхода и давления.
- HOKE трубные фитинги и краны, клапаны, активаторы, манифолды, пробоотборные цилиндры
- Concoa производитель редукторов и регуляторов потока газов .
- Air Liquide производитель газов и газового оборудования
- Mattheson Tri-Gas поставщик промышленных, медицинских газов, специальных и газов для электронной промышленности, газового и газоперекачивающего оборудования, систем газоочистки, оборудования промышленной безопасности и газотехнических услуг.
- Thermionics Laboratory разнообразное вакуумное оборудование, системы создания и измерения вакуума
Системы напыления тонких и сверхтонких пленок, магнетроны, источники (испарители) для систем напыления, материалы для напыления, мишени
- VPT системы вакуумного напыления с надежно контролируемыми и управляемыми параметрами.
- Torr компактные установки магнетронного напыления металлических, диэлектрических и полимерных пленок. Специализированные системы термического напыления и напыления электронным лучом. Системы ионного травления.
- Denton Vacuum системы напыления тонких пленок электронно-лучевые, магнетронные, термические, PE-CVD, ионно-лучевые.
- Leybold Optics системы вакуумного и магнетронного напыления для электронных компонентов, прецизионной оптики, нанесения покрытий на линзы, приборы ионно-лучевой полировки
- Semicore Equipment системы осаждения из паровой фазы PVD и нанесения покрытий: магнетронное распыление постоянного тока / импульсное магнетронное распыление постоянного тока, радиочастотное магнетронное распыление, электронно-лучевое испарение и системы термического испарения, магнетронные мишени и катоды.
- CHA Industries высоковакуумные системы всех типов прецизионного напыления покрытий, сопутствующее оборудование.
- Picosun оборудование для атомно-слоевого осаждения (ALD) тонких пленок.
- Quintronix широкий спектр вакуумного и напылительного оборудования: ионные датчики, турбонасосы и контроллеры, механические вакуумные насосы, источники питания электронного пучка, диффузионные насосы, системы вакуумного осаждения , крионасосы и компрессоры.
- Veeco Instruments приборы контроля и оборудование для всех видов систем напыления и нанесения тонких пленок и покрытий,
- Angstrom Sciences системы и решения для технологии магнетронного распыления и распыляющие материалы
- Axic системы плазменного травления и осаждения, системы мониторинга состава и толщины тонких пленок.
- AGS Plasma Systems производитель вакуумно-плазменных систем, используемых для травления и осаждения в микроэлектронике, микроэлектромеханических системах MEMS, солнечной, оптоэлектронике и нанотехнологиях.
- Plasma Process Group системы напыления покрытий с ионным пучком, источники ионного пучка и блоки питания.
- Gencoa решения основанные на технологии плазменных источников для плазменной очистки, удаления покрытий и осаждения ионным пучком
- Inficon большой выбор контроллеров, мониторов и датчиков толщин покрытий, используемых в процессе вакуумного нанесения тонких пленок
- Samco International системы плазменного осаждения и травления, включая системы плазменного усиленного химического осаждения из паровой фазы (PECVD) и осаждения атомного слоя (ALD).
- Kimball Physics компания специализируется на высокостабильных электронных излучателях, прецизионной электростатической и магнитостатической оптике, вакуумных камерах и фитингах. Производят электронные и ионные системы в диапазоне энергий пучка от 1 эВ до 100 кэВ и токов пучка от фемтоампер до ампер