Вы здесь

Системы совмещения (Mask Aligners)

  • Ev Group INC - автоматические и полуавтоматические системы совмещения и экспонирования, нанесения и проявления фоторезиста, установки для для сварки, ламинирования пластин,  установки и снятия пластин на временный носитель для литографии, NIL, бондинга
  • Exatron - полная линейка оборудования для автоматизированной обработки, тестирования, программирования и лазерной маркировки для производства корпусных интегральных схем
  • OAI Instruments - автоматизированные, полуавтоматические системы совмещения, экспонирования, AML бондинга, лазерной фотолитографии  для микро/нано-электроники, MEMS и микрофлюидики, NIL
  • Suss Microtech - установки для совмещения, системы для нанесения и проявления фоторезиста, лазерного экспонирования для модификации структуры фоторезиста, создания масок, микроабляции, бондинга, метрологических задач в производстве полупроводниковых компонентов, систем микрофлюидики и микрооптики
  • Neutronix Quintel - установки совмещения и экспонирования фоторезиста для микроэлектроники, LED, 3D IC, SIOP, MEMS
  • Midas Systems - оборудование для процессов фотолитографии: ручные, полуавтоматические и автоматические установки совмещения и контактного экспонирования, оборудование для нанесения  тонких пленок, наноимпринтинга