Вы здесь

Измерение толщины пленок и покрытий

  • Axic, INC - системы мониторинга состава и толщины тонких пленок, системы плазменного травления и осаждения
  • Angstrom Sun Technologies, INC - спектроскопические рефлектометры SR, микроспектрофотометры MCP, спектроскопические эллипсометры SE в диапазоне от DUV до NIR для неразрушающего контроля и точного зондирования тонких пленок
  • Jasco Incorporated - системы для измерения тонких пленок, нанесенных на кремниевые пластины, с использованием ИК-отражения или пропускания, системы неразрушающего бесконтактного  анализа, использующие интерферометрическую технологию для точного измерения толщины пленки
  • Nanometrics, INC - системы, позволяющие измерять различные свойства тонких пленок, критические размеры, ошибки совмещения слоев (overlay)  для производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
  • Ulvac Technologies, INC - спектральные эллипсометры  для измерения показателя преломления и толщины тонких пленок