Вы здесь

Ионная имплантация

  • Allwin21 Corp. - системы AccuThermo для быстрых термических процессов (RTP, RTA, RTO, RTN)
  • Axcelis Corp. - системы ионной имплантации, в том числе имплантеры High Current, High Energy, Mid Current
  • Tokyo Electron - автоматические многокамерные  установки ионного травления (CCP-RIE/ICP, RIE, RIE/CCP, HD LPCVD)
  • Eternalsun Spire - симуляторы солнечной энергии и встроенные климатические камеры для измерения производительности и надежности фотоэлектрических модулей
  • Ion Beam Service - IBS системы плазменной иммерсионной  ионной имплантации
  • SVTA Inc. - системы молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE) для роста высококачественных сложных полупроводниковых материалов, оборудование для осаждения атомных слоев (ALD) и инструменты для осаждения тонких пленок