Вы здесь

Системы напыления тонких пленок

Системы напыления и нанесения тонких пленок и покрытий:

  • Aixtron SE – оборудование для осаждения металлоорганических соединений из газовой фазы (MOCVD).
  • Kurt J. Lesker Company – широкий выбор вакуумных напылительных установок всех известных типов .
  • Vacuum Process Technology, LLC (VPT) – совершенные системы вакуумного напыления с надежно контролируемыми и управляемыми параметрами.
  • Leybold Optics Buhler Group – большой выбор вакуумных напылительных установок, в том числе, для использования в промышленных целях.
  • Edwards Vacuum Ltd
  • Torr International Services LLC – компактные установки магнетронного напыления металлических, диэлектрических и полимерных пленок. Специализированные системы термического напыления и напыления электронным лучом. Системы ионного травления.
  • Intlvac Thin Film Corporation USA – производство на заказ систем PVD напыления и ионного травления.
  • CHA Industries – высоковакуумные системы всех типов прецизионного напыления покрытий, сопутствующее оборудование.
  • Picosun Oy – оборудование для атомно-слоевого осаждения (ALD) тонких пленок.
  • Denton Vacuum LLC – разного типа системы напыления тонких пленок высокого качества (электронно-лучевые, магнетронные, термические, PE-CVD, ионно-лучевые).
  • Aja International, Inc. – магнетронные, электронно-лучевые и термические напылительные установки. Системы ионной полировки.
  • Marposs Corporation 
  • SVT Assosiates, Inc. – мировой лидер в производстве установок молекулярно-лучевой эпитаксии. Производитель систем напыления тонких пленок и систем атомно-слоевого осаждения (ALD).
  • Henniker Scientific Ltd – установки молекулярно-лучевой эпитаксии, напыления тонких пленок, импульсного лазерного напыления (PLD).

Источники разных типов (электронный пучок, термо, магнетрон) и другие компоненты для систем напыления:

  • Kurt J. Lesker Company – большой выбор источников испарительного и типа и всего необходимого к ним, магнетронные источники.
  • Telemark – электронно-лучевые и ионно-лучевые источники различных типов.

Приборы для контроля процесса напыления и измерения толщины тонких покрытий:

  • Filmetrics, Inc. – анализаторы толщин тонких пленок, оптический 3D профилометр.
  • Inficon – большой выбор контроллеров, мониторов и датчиков толщин покрытий, используемых в процессе вакуумного нанесения тонких пленок.
  • Veeco Instruments, Inc. – приборы контроля и оборудование для всех видов систем напыления и нанесения тонких пленок.
  • DigiPol Technologies (Rudolph Instruments, Inc.) – цифровые поляриметры, сахариметры, рефрактометры, полярископы, элипсометры.
  • Horiba Scientific, Ltd
  • Keyence Corporation of America – большой выбор разнообразных датчиков и приборов, некоторые из которых могут быть использованы для контроля результатов напыления тонких пленок (микроскопы, 3D профилометры).
  • MTI Corporation – монитор для контроля толщин тонких пленок в процессе напыления, отражательный спектрометр для измерения толщин пленок.
  • Semiconsoft, Inc. – системы контроля толщин тонких пленок как в процессе напыления, так и в готовом виде.
  • Telemark – мониторы для контроля толщины покрытий в процессе напыления – с кварцевыми датчиками (QCM), оптические, резистивные.